英特尔揽获全球首台新型高NA EUV光刻机 助力1.8nm工艺飞跃


1月7日消息传来,全球半导体行业领导者英特尔公司再次成为业界焦点。位于美国俄勒冈州的英特尔晶圆厂日前迎来了一位重量级的新成员:全球首台高数值孔径(NA)极紫外线(EUV)光刻机,即“Twinscan EXE:5000”。这台先进光刻机的到来为英特尔的技术进步增添了新的动力。

早在2018年,英特尔就预见到了集成电路微缩技术的未来趋势,向光刻机制造巨头ASML下达订单,预订了这种颠覆性的光刻设备。英特尔希望借助这台光刻机执行其心心念念的18A制造工艺,即著名的1.8纳米级别,届时将有望在今年实现量产。

光刻机在芯片制造过程中的角色至关重要,它负责将电路图案精确投影到硅片上,随着技术的发展,图案的精细度成为了衡量其先进性的核心标准。而高NA EUV光刻机的独到之处在于其更高的分辨率,可以实现更小尺寸的微缩化生产,从而延续摩尔定律所蕴含的半导体技术飞速进步的精髓。

除了“Twinscan EXE:5000”,英特尔更是展示了其遥遥领先的野心,已经抢先一步预订了升级版的“Twinscan EXE:5200”。这台光刻机预计将在2025至2026年推出,并将应用于更加先进的制造工艺。根据之前的报道,ASML仅计划在2024年生产不超过10台新一代高NA EUV光刻机,可见英特尔定下6台这一巨额订单的战略意义重大。

随着技术的进步和生产效率的提高,预计到了2027至2028年,ASML每年将能够生产大约20台这样的高端光刻机。然而,杰出的性能往往伴随着昂贵的成本,新一代光刻机的价格或将高达3亿至4亿美元,折合近30亿元人民币,远高于目前较为常见的低NA EUV光刻机所需的大约2亿美元。

对于英特尔而言,数亿美元的投资是对新光刻技术信心的体现,也是其在半导体产业不断保持领先地位的重要举措。通过引入高NA EUV光刻机,英特尔不仅能够在技术层面维持其竞争优势,同时为合作伙伴和最终用户提供更高效能的芯片产品。在全球芯片行业持续升温的大环境下,这台光刻机的到来,无疑为英特尔又添了一笔宝贵的先进制造资产。

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